プラズマ工学研究室

研究室プロジェクト

本研究室では,現在までに反応性プラズマ中に発生する微粒子の発生・成長機構について研究を行い,この分野において指導的立場にいる.現在は現在までに得られた成果を踏まえて,以下のような研究を行っている.

  • 薄膜太陽電池製造用プラズマプロセスの革新
  • 太陽電池用超高品質光安定a-Si:H作製用プラズマ技術開発
  • ナノ粒子を用いた革新的次世代太陽電池材料開発
  • プラズマ異方性CVDを用いた,微細構造への薄膜堆積
  • LSI用超低誘電率層間絶縁膜用ナノ粒子含有膜の創成
  • プラズマを用いたナノシステム構築に関する基礎研究
  • 核融合実験炉内に発生する微粒子(ダスト)の発生・成長機構解明