プラズマ工学研究室

プラズマ工学研究室では、21世紀を支える産業となりつつある、太陽電池産業の重要技術「プラズマプロセス」をはじめ、「微粒子プラズマとその応用」「プラズマ異方性CVD」の研究を中心に行っています。

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研究室概要

九州大学大学院
システム情報科学研究院
電気電子工学専攻
電子デバイス工学講座
プラズマ工学研究室

研究室所在地

〒819-0395
福岡県福岡市西区元岡744
TEL:092-802-3734