白谷・鎌滝研究室では、革新的なプラズマプロセスの創成とその応用を目指して、半導体プラズマプロセスを中心に研究を行っています。

• 放電波形制御などを用いたプラズマ中の反応制御による高品質・高スループットプロセス技術の開発
• プラズマ計測、プラズマシミュレーション、機械学習を連動させたプラズマプロセス機構の解明と予測
• プラズマ-表面/ナノ界面相互作用の解明
• 光捕捉微粒子を用いたプラズマ電場の高精度計測法の開発
• それらプラズマプロセスを用いた新規材料開発

を主要研究課題としています。