本研究室では，革新的プラズマの創成を目指して，
以下の研究を行っている。
- プラズマ中の反応制御による高品質・高スループットプロセス技術の開発
- プラズマを用いた機能性ナノブロック作製と応用
- プラズマ-表面相互作用の解明
- プラズマ農業の創成
以下の研究を行っている。
- 太陽電池用超高品質光安定a-Si:H作製用プラズマ技術開発
- ナノ粒子を用いた革新的次世代太陽電池材料開発
- プラズマ異方性CVDを用いた，微細構造への薄膜堆積制御
- LSI用超低誘電率層間絶縁膜用ナノ粒子含有膜の創成
- プラズマを用いたナノシステム構築に関する基礎研究
- 核融合実験炉内に発生する微粒子（ダスト）の発生・成長機構解明
- プラズマを用いた植物成長促進
