プラズマ工学研究室では、21世紀を支える産業となりつつある、太陽電池産業の重要技術「プラズマプロセス」をはじめ、「微粒子プラズマとその応用」「プラズマ異方性CVD」の研究を中心に行っています。
九州大学大学院 システム情報科学研究院 電子デバイス工学部門 ナノ集積システム工学講座
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