プラズマナノ界面工学センター

共同利用機器

センターでは下記の装置を所有しています．

学内外の方でも共同研究など様々な形で共同利用が可能です．

ご希望の方は，下記へお問い合わせ下さい．


ご利用条件
  • サンプルが少数の場合は，無料でご利用頂けますが，多数の場合は，別途ご相談下さい．
  • どなたでもご利用頂けますが，サンプルの内容と目的を上記メールアドレスまでご申請下さい．
  • 装置の稼働状況や汚染を避けるためなどの理由で共同利用できない場合もありますので，予め御了承下さい．
  1. 波長分散型蛍光Ｘ線分析装置
  2. 多機能薄膜材料評価Ｘ線回折装置
  3. 比抵抗/ホール測定システム 8400AC/M型
  4. FIB
  5. AES
  6. 太陽光シミュレータ
  7. 半導体パラメータアナライザー
  8. 高速度カメラ
  9. 分光器
  10. プラズマCVD装置A（特注品，シラン系）
  11. プラズマCVD装置B（特注品，シラン系）
  12. 水素原子源付プラズマCVD装置C（特注品，カーボン系）
  13. ３元スパッタ装置A（特注品）
  14. ３元スパッタ装置B（特注品）
  15. ３元スパッタ装置C（特注品）
  16. 真空蒸着装置
  17. 電子ビーム蒸着装置
  18. IPCE測定装置
  19. レーザラマン装置
  20. 紫外可視分光光度計
  21. 吸光蛍光測定装置
  22. レーザピンセット付プラズマ生成装置（特注品）
  23. 人工気象器
  24. 大気圧質量分析装置
  25. 質量分析装置
  26. CW YAG レーザ
  27. 電子天秤
  28. デジタルオシロスコープ
  29. 電気化学インピーダンス測定装置
  30. 極低温PL測定装置
  31. スピンコータ
  32. グローブボックス
  33. 大気圧BDBプラズマ照射装置
  34. 重水素ランプ