プラズマ工学研究室では，21世紀を支える産業となりつつある。太陽電池産業の重要技術「プラズマプロセス」をはじめ，「微粒子プラズマとその応用」「プラズマ異方性CVD」の研究を中心に行っています。

連絡先
〒819-0395
福岡県福岡市西区元岡744
TEL＆FAX：092-802-3723
e-Mail：siratani(a)ed.kyushu-u.ac.jp