プラズマ工学研究室






プラズマ工学研究室では,
21世紀を支える産業となりつつある,
太陽電池産業の重要技術「プラズマプロセス」をはじめ,
「微粒子プラズマとその応用」
「プラズマ異方性CVD」
 の研究を中心に行っています。

研究室概要

九州大学大学院
システム情報科学研究院
電子デバイス工学部門
ナノ集積システム工学講座

研究室所在地

〒819-0395
福岡県福岡市西区元岡744
TEL&FAX:092-802-3717
e-Mail: