• Plenary講演
  • 日時9月23日(月) 10:10 - 10:50
    題目Future industry created by plasma science
    講演者堀 勝 先生
    御所属名古屋大学大学院工学研究科 電子情報システム専攻

    日時9月24日(火) 10:00 - 10:40
    題目最先端半導体デバイスにおけるプラズマプロセスと将来展望
    Future Perspective of Plasma Processes for Leading Edge Semiconductor Devices
    講演者木下 啓蔵 先生
    御所属東北大学 省エネルギー・スピントロニクス集積化システムセンター


  • プラズマ材料科学賞(基礎部門賞)受賞記念講演
  • 日時9月23日(月) 10:50 - 11:30
    題目プラズマのバイオ応用における先駆的研究
    Pioneering Study on Plasma Bio-application
    講演者永津 雅章 先生
    御所属静岡大学  創造科学技術大学院長


  • Invited講演
  • 日時9月23日(月) 11:30 - 12:00
    題目Lateral epitaxial overgrowth of cluster assisted mesoplasma CVD
    講演者神原 淳 先生
    御所属東京大学大学院工学系研究科 マテリアル工学専攻

    日時9月24日(火) 13:30 - 14:00
    題目プラズマ電極を用いた電気化学反応における液中反応の検討
    Study of liquid-phase reaction in electrolysis with plasma electrode
    講演者栃久保 文嘉 先生
    御所属首都大学東京 理工学研究科 電気電子工学専攻

    日時9月24日(火) 10:40 - 11:10
    題目プラズマイオン吸入による脳・肺・心疾患緩和治療の試み
    Attempt of Relaxation Therapy of Lung, Brain, and Heart Disorders by Plasma-Ion Inhalation
    講演者平田 孝道 先生
    御所属東京都市大学大学院工学研究科 生体医工学専攻

    日時9月23日(月) 14:30 - 15:00 (英語セッション)
    題目Direct Methane Conversion using Atmospheric Pressure Plasma: Application to Novel Gas-To-Liquid
    講演者野崎 智洋 先生
    御所属東京工業大学大学院理工学研究科 機械物理工学専攻

    日時9月23日(月) 16:20 - 16:50 (英語セッション)
    題目Ultrathin ZnO films for transparent conductors and plasmonics
    講演者Professor David C. Look
    御所属Wright State University, OH, USA

    日時9月23日(月) 16:50 - 17:20 (英語セッション)
    題目Microscopic Structure and Electrical Transport Property of Oxide Semiconductor Films Deposited by rf-Magnetron Sputtering
    講演者薮田 久人 様
    御所属キヤノン株式会社 総合R&D本部 ナノ材料・分析技術開発センター

    日時9月23日(月) 14:30 - 15:00 (産業セッション)
    題目高周波熱プラズマによるフロン分解実証プラント
    Demonstration Plant for Chlorofluorocarbon Decomposition by Atmospheric RF Plasma
    講演者三浦 巧 様
    御所属西日本家電リサイクル株式会社 代表取締役

    日時9月23日(月) 16:20 - 16:50 (産業セッション)
    題目High-Temperature Annealing System Using Atmospheric-Pressure Radio-Frequency Glow Discharge for SiC Activation Process
    講演者横川 賢悦 様
    御所属株式会社日立製作所 中央研究所/ナノプロセス研究部










     締め切り

  • 講演申込締切
     (アブストラクト提出締切)
    ※ 延長しました.
     2013年 8月 5日(月)

     2013年 7月22日(月)

  • 発表採択通知(Eメール)
     2013年 8月 21日(水)

  • プログラムの
     Webサイトへの掲載
    ※ 延長しました.
     2013年 9月 3日(火)

     2013年 8月23日(金)

  • シンポジウム
     予約参加申込オープン
    ※ 延期しました.
     2013年 8月22日(木)

     2013年 8月 5日(月)

  • シンポジウム
     予約参加申込締切
     2013年 9月13日(金)

  • シンポジウム開催日程
     2013年 9月23日(月)
      〜2013年 9月24日(火)

  • プロシーディング投稿期間
     2013年 9月23日(月)
      〜2013年 9月30日(月)

  • プロシーディング発行
     2014年 3月