リサーチコア

半導体ナノテクノロジーリサーチコア

平成26年度 活動報告

具体的活動
  • 産学研究会「デバイス研究会」を開催(12/13)
  • Japan-France CVD diamond power device workshopを開催(10/6-10)
外部資金獲得状況
  • 基盤研究A, 中島(代表),4,589万円「メタル・ソース/ドレイン型Ge-CMOS実現のための基盤技術開発」(継続)
  • 挑戦的萌芽, 中島(代表), 403万円「金属窒化膜/Ⅳ族半導体ナノ界面制御による超低電子障壁コンタクトの創製」(継続)
  • 基盤研究B, 宮尾(代表), 佐道(分担),トフォームにおける絶縁分離型GeSn結晶の非熱平衡固相成長」(継続)
  • 挑戦的萌芽, 宮尾(代表), 佐道(分担), 310万円「多機能ハイブリッド集積回路を可能とする異種材料混載化技術の創出」(継続)
  • 基盤研究B, 佐道(代表), 宮尾(分担), 1,950万円「絶縁膜上における歪み単結晶Geの高品位形成と超高速トランジスタへの応用」(継続)
  • 基盤研究A, 白谷(代表), 3,180万円「プラズマを用いたナノ粒子精密配置制御の学術基盤創成」(新規)
  • NEDO再受託,白谷(代表),古閑(分担),2,769万,「光劣化の基礎現象解明」(継続)
  • NEDO革新的太陽光発電技術研究開発,白谷(代表),古閑(分担),9,199.6万,「高度秩序構造を有する薄膜多接合太陽電池の研究開発(ナノ結晶シリコン)」(継続)
  • 挑戦的萌芽, 吉武(代表), 310万円「物理気相成長法による超高濃度ボロンドープナノダイヤモンド膜の創製と超伝導特性」(継続)
  • JST A-STEP,吉武(代表),800万円「CAPD法を利用したUNCDコーティング方法の開発.」(新規)
  • 基盤研究B,浅野(代表),1,482万円「ウェットレーザプロセッシングにおける超高速ドーピング機構の研究」(継続)
  • JST A-Step,浅野(代表),6,000万円「ソフトマテリアルとLSIのマイクロ接合技術の開発と装置化」(継続)
  • JST A-Step,浅野(代表),800万円「高ゼータ電位Agナノ粒子を用いた高速電極形成技術の開発」(新規)
  • JST CREST,浅野(代表),44,000万円「異種機能固デザインによるテラヘルツ帯ビデオイメージングデバイスの開発」(新規)
  • JST-さきがけ,板垣(代表), 3,990万円「新規酸窒化物を用いたピエゾ電界誘起量子井戸型太陽電池の創成」(継続)
  • 挑戦的萌芽,板垣(代表), 310 万円「酸窒化物量子井戸中のエキシトン流を利用した高速・低消費電力トランジスタの創成」(継続)
  • 若手研究A, 板垣(代表),1,870万円「フラックス制御スパッタによる高品質酸窒化物の創製と新概念光スイッチへの応用」(申請)
  • 基盤研究B,古閑(代表),1,270万円「コンビナトリアル細胞活性解析を用いた細胞超活性プラズマの創成」(継続)
  • 基盤研究A,古閑(代表),5,000万円「プラズマ照射効果の世代間伝播機構の解明と植物成長活性プログラミングの創成」(申請)
産学連携への取組
  • 共同研究「カーボン系材料による太陽電池の創製」(吉武)
  • 共同研究「レーザーを用いた化合物半導体製造技術に関する研究」(浅野)
  • 共同研究「常温接合技術に関する研究」(浅野)
  • 共同研究「シリコン貫通電極高速形成技術の研究」(浅野)
  • 共同研究「ZAO薄膜の低抵抗化の研究」(板垣)
平成27年度概算要求
システム情報,設備費,「i-Engineering教育設備」

リサーチコア構成員名簿

構成員(責任者及び分担者,役割分担)

氏名所属部局・職名現在の専門学位役割分担
白谷 正治

システム情報科学研究院

情報エレクトロニクス部門

教授

プラズマ理工学工学博士

研究代表者

プラズマプロセス関連研究

中島 寛

総合理工学研究院

産学連携センター

教授

材料・プロセス工学工学博士半導体プロセス関連研究
浅野 種正

システム情報科学研究院

情報エレクトロニクス部門

教授

半導体工学工学博士半導体プロセス関連研究
興 雄司

システム情報科学研究院

I&Eビジョナリー特別部門

教授

レーザープロセス工学博士レーザープロセス関連研究
中村 大輔

システム情報科学研究院

電気システム工学部門

准教授

レーザープロセス博士(工学)レーザープロセス関連研究
吉武 剛

総合理工学研究院

融合創造理工学部門

准教授

材料・プロセス工学博士(工学)半導体プロセス関連研究
佐道 泰造

システム情報科学研究院

情報エレクトロニクス部門

准教授

半導体工学博士(工学)半導体プロセス関連研究
板垣 奈穂

システム情報科学研究院

情報エレクトロニクス部門

准教授

プラズマ材料科学博士(理学)プラズマプロセス関連研究
古閑 一憲

システム情報科学研究院

情報エレクトロニクス部門

准教授

プラズマ理工学博士(理学)プラズマプロセス関連研究