プラズマ工学研究室

メンバー紹介

教員

教授 白谷 正治 ( しらたに まさはる ) 工学博士
 昭和57年からプラズマ理工学に関する研究に従事.特に,Si薄膜太陽電池の作製に用いるシランプラズマ中で発生するナノ粒子に関するその場計測と制御に関する研究に注力してきた.最近,ナノ粒子制御により従来にない高品質なa-Si:Hを作製できることを示した.また,平成16,17年度にはNEDOの受託研究としてナノ結晶シリコン薄膜セルの研究開発に従事した.応用物理学会第3回プラズマエレクトロニクス賞,応用物理学会第2回プラズマエレクトロニクス賞,日本学術振興会第1回プラズマ材料科学賞等の計7賞を受賞.
准教授 古閑 一憲 ( こが かずのり ) 理学博士
 平成11年4月から九州大学にてプラズマ中微粒子の発生・成長機構に関する研究に従事.特にナノメータ以下の微粒子検出法の開発に従事した.特に,以下の成果を得た. 「クラスタ抑制プラズマCVD法」を開発し従来にない高いレベルでの超高品質アモルファスシリコン薄膜の作製に成功した.これらの研究に対して平成13年5月に第10回応用物理学会講演奨励賞,平成17年に応用物理学会第3回プラズマエレクトロニクス賞を受賞した.
助教 徐 鉉雄 ( そう ひょんうぉん ) 工学博士
 

スタッフ

技術職員 山下 大輔(やました だいすけ)
テクニカルスタッフ 大西 千鶴(おおにし ちづる)
テクニカルスタッフ 小西 桂子(こにし けいこ)

学生

博士課程 3年都甲 将(とこう すすむ)
博士課程 2年中野 慎也(なかの しんや)
博士課程 1年宮原 奈乃華(みやはら なのか)
博士課程 1年川口 保幸(かわぐち やすゆき)
修士課程 2年小島 尚(こじま たかし)
修士課程 2年森 研人(もり けんと)
修士課程 2年大井手 芳徳(おおいで よしのり)
修士課程 2年山木 健司(やまき けんじ)
修士課程 2年坂本 大輔(さかもと だいすけ)
修士課程 2年方 トオジュン(ほう とおじゅん)
修士課程 1年田中 和真(たなか かずま)
修士課程 1年谷田 知史(たにだ さとし)
修士課程 1年大友 洋(おおとも ひろし)
修士課程 1年張 博辰(ちょう はくたつ)
修士課程 1年和田 陽介(わだ ようすけ)
修士課程 1年周 靭(しゅう れん)
学部 4年原 尚志(はら ひさゆき)
学部 4年佐藤 僚哉(さとう ともや)
学部 4年永石 翔大(ながいし しょうた)
学部 4年山本 瑛久(やまもと あきひさ)
研究生FADZAI LESLEY CHAWARAMBWA

協力教員・スタッフ

准教授 板垣 奈穂(いたがき なほ)
助教 鎌滝 晋礼(かまたき くにひろ)